Results 1-2 of 2 (Search time: 0.005 seconds).
NO | Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date) |
---|---|
Reactive magnetron sputter ion plating법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성에 관한 연구 = A study on characteristics of the TiN thin films deposited by reactive magnetron sputter ion plating.link 강희수; Kang, Hee-Soo; 이원종; Lee, Won-Jong, 한국과학기술원, 1996 | |
TiN의 Cu 확산방지막 특성 및 그 특성 평가 방법에 관한 연구 = The properties and the characterization methods of TiN as a barrier against Cu diffusionlink 이승윤; Lee, Seung-Yun; 박종욱; Park, Chong-Ook, 한국과학기술원, 1996 |
Discover