Showing results 1 to 1 of 1
Improving aspect ratio for extreme ultraviolet (EUV) pattern via encapsulating Si-containing gradient block copolymer = 실리콘 블록이 함유된 농도구배를 갖는 블록공중합체의 자기조립 현상을 이용한 극 자외선 패턴의 종횡비 개선 연구link Park, Yemin; Jung, Yeon Sik; et al, 한국과학기술원, 2021 |
Discover