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반응성 스퍼터링법에 의해 제조된 PZT박막에 Ta첨가의 영향에 관한 연구 = A study on effects of Ta addition in PZT thin films by reactive sputteringlink 최광표; Choi, Gwang-Pyo; et al, 한국과학기술원, 1996 |
반응성 스퍼터링법으로 증착된 코발트 나이트라이드(Co-N) 박막을 이용한 (100) Si 기판에서의 $CoSi_{2}$ 에피층 형성에 관한 연구 = Formation of epitaxial $CoSi_{2}$ layer on (100) Si substrate using cobalt nitride(Co-N) film deposited by reactive sputteringlink 이승렬; Lee, Seung-Ryul; et al, 한국과학기술원, 2004 |
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