Showing results 3 to 4 of 4
Ta-N 박막의 Cu 확산방지 특성에 관한 연구 = A study on the barrier properties of Ta-n thin films against Cu diffusionlink 장유진; Chang, You-Jean; et al, 한국과학기술원, 1999 |
고이동도 비정질 산화물 반도체 박막 트랜지스터용 소스-드레인 전극 물질과 구리 확산 방지 특성에 대한 연구 = A study on source-drain electrode material for high-mobility oxide thin-film transistors and its copper diffusion barrier propertylink 이광흠; Lee, Kwang-Heum; et al, 한국과학기술원, 2016 |
Discover