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8
나노탬플릿과 원자층 증착법을 이용한 정렬된 TiN, $TiO_2$ 일차원 나노구조의 제조와 특성평가 = Fabrication and characterization of aligned TiN, $TiO_2$ one-dimensional nanostructures by nanotemplate and atomic layer depositionlink

김상준; Kim, Sang Joon; et al, 한국과학기술원, 2013

9
반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 $CoSi_2$ layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구 = Growth behavior and thermal stability of $CoSi_2$ layer on poly-Si substrate using reactive chemical vapor depositionlink

김선일; Kim, Sun-Il; et al, 한국과학기술원, 2001

10
원자층 단위 증착법으로 증착된 TiN 증착기구에 대한 모델 연구 = A study of the deposition model about ALD (atomic layer deposition) TiN methodlink

박진성; Park, Jin-Seong; et al, 한국과학기술원, 1999

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