검출물질 감지센서, 검출물질 감지방법 및 이를 이용한 응용소자DETECTING MATTER SENSING SENSOR, DETECTING MATTER SENSING METHOD, AND APPLICATION ELEMENT USING DETECTING MATTER SENSING SENSOR
본 발명의 검출물질 감지센서는, 절연기판; 상기 절연기판 상에 형성된 주전극; 상기 주전극과 전기적으로 절연되고, 전하를 띠는 검출물질이 부착되는 검출물질 부착부; 및 상기 검출물질 부착부의 상부에, 상기 주전극 및 상기 검출물질 부착부와 이격되고 상기 주전극 및 상기 검출물질 부착부와 대향하도록 형성된 유동전극;을 포함하고, 상기 유동전극이 상기 주전극이 배치된 방향으로 위치 이동하도록 하는, 상기 주전극과 상기 유동전극 사이의 구동전압은, 전하를 띠는 검출물질이 상기 검출물질 부착부에 특이적 결합을 이룬 경우가 특이적 결합을 이루지 않은 경우보다 크거나 작다.