엑스선 경사노광의 천이영역을 제거하기 위한 미세구조물제조장치 및 그 방법FABRICATION APPARATUS OF MICRO-STRUCTURE FOR REMOVINGTRANSIENT AREA OF INCLINED X-RAY EXPOSURE ANDFABRICATION METHOD THEREOF
본 발명은 LIGA공정을 이용하여 감광성 폴리머로 구성된 미세구조물에 경사면을 형성하기 위한 장치 및 그 방법을 개시한다. 더욱 상세하게 본 발명은 노광광원인 X선을 X선 마스크에 수직하게 노광하여 미세구조물에 경사면을 형성함으로써 미세구조물의 불균일한 조도를 갖는 부분을 제거할 수 있는 X선 경사노광의 천이영역을 제거하기 위한 장치 및 그 방법을 개시한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2006-03-30
- Application Date
- 2004-04-16
- Application Number
- 10-2004-0026179
- Registration Date
- 2006-03-30
- Registration Number
- 10-0568262-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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