적외선 센서칩, 적외선 감지기, 이의 동작 방법 및 테스트 방법INFRARED SENSOR CHIP, INFRARED DETECTOR AND METHOD FOR OPERATING AND TESTING THE SAME
실시예에 따르면, 액티브 매트릭스, 로우 라인 선택부 및 출력 멀티플렉서부로 구성된 CMOS회로 기판; 및 상기 CMOS 회로 기판 상에 적층되며, 액티브 셀과 레퍼런스 셀로 구성되는 볼로미터를 포함하고, 웨이퍼 또는 칩 상태에서의 상기 볼로미터에 대한 동작, 최종 및 파라메트릭 테스트를 위해, 상기 로우 라인 선택부는 상기 볼로미터 중 전압 인가의 대상이 되는 셀을 선택하고, 상기 출력 멀티플렉서부는 상기 전압 인가에 따른 전류 특성을 출력하는 적외선 센서칩이 제공된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-05-06
- Application Date
- 2013-04-15
- Application Number
- 10-2013-7009494
- Registration Date
- 2015-05-06
- Registration Number
- 10-1519607-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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