표면 개질된 그래핀 캡핑층을 포함한 구리 배선 소자 및 그 제조 방법COPPER INTERCONNECT DEVICE INCLUDING SURFACE FUNCTIONALIZED GRAPHENE CAPPING LAYER AND FABRICATION METHOD THEREOF
본 발명은 표면 개질된 그래핀 캡핑층을 포함한 구리 배선 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 수 나노미터 이하의 얇은 두께로도 미세한 구리 배선의 일렉트로마이그레이션 현상을 억제할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면 그래핀의 표면을 개질하여 구리 원자와 화학적 상호작용이 발생되는 작용기들을 형성한 표면 개질 그래핀을 캡핑층으로 사용함으로써, 수 나노미터 이하의 얇은 두께의 캡핑층만을 사용하여도 작용기와의 화학적 상호작용에 의해 구리 원자의 이동이 어려워지고, 그로 인해 구리 배선의 일렉트로마이그레이션 현상을 억제할 수 있는 효과가 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원,램 리서치 코퍼레이션
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2016-06-17
- Application Date
- 2015-03-10
- Application Number
- 10-2015-0033110
- Registration Date
- 2016-06-17
- Registration Number
- 10-1633039-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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