비휘발성 메모리 셀 및 그 제조방법

Abstract

본 발명은 비휘발성 메모리 셀 및 그 제조방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명에 따른 비휘발성 메모리 셀은 기판, 기판의 활성영역 상에 형성된 제1산화막, 활성영역 내에 형성된 소오스와 드레인, 제1산화막 상에 형성된 전하저장부, 전하저장부를 포위하고, 제1산화막 상에 형성된 제2산화막 및 제2산화막을 포위하도록 형성된 게이트를 포함한다. 이러한 본 발명에 따른 비휘발성 메모리 셀, 이를 포함하는 셀 어레이는 전하저장부가 게이트 또는 게이트라인에 의해 완전히 포위됨으로써, 인접한 다른 게이트 또는 게이트라인 내부에 형성된 셀에 의한 메모리 동작으로 발생할 수 있는 셀간 간섭현상을 최소화 할 수 있다. 게이트 라인, 탄소나노튜브(carbon nanotube), 플러린(fullerene), 나노결정