나노결정을 균일하게 형성하는 방법 및 나노결정을포함하는 소자METHOD OF FORMING UNIFORMLY DISTRIBUTED NANOCRYSTAL ANDDEVICE OF INCLUDING THE NANOCRYSTAL

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본 발명은 나노결정을 균일하게 형성하는 방법 및 그 나노결정을 포함하는 소자에 관한 것이다.본 발명에 따른 균일한 나노결정을 형성하는 방법은 기판상에 제1 마스크층과 제2 마스크층을 서로 이격되게 형성하는 단계, 제1 마스크층을 마스크로 하여 기판 상면의 일측에 대하여 비스듬한 각도인 제1 경사각으로 제1 나노결정 형성물질을 제2 마스크층과 인접한 기판상에 입사하는 단계, 제2 마스크층을 마스크로 하여 기판 상면의 타측에 대하여 비스듬한 각도인 제2 경사각으로 제2 나노결정 형성물질을 제1 마스크층과 인접한 기판상에 입사하는 단계, 제2 마스크층을 향하여 돌출된 형태로 제1 마스크층 상에 형성된 제1 나노결정 형성물질과 제1 마스크층을 향하여 돌출된 형태로 제2 마스크층상에 형성된 제2 나노결정 형성물질을 마스크로 하여 제3 나노결정 형성물질을 기판에 대하여 수직인 제3 경사각으로 기판상에 입사하는 단계 및 제1 및 제2 마스크층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 이루어진다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2007-11-30
Application Date
2006-08-11
Application Number
10-2006-0076058
Registration Date
2007-11-30
Registration Number
10-0782911-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/227993
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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