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NO | Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date) |
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증발형 증착 장치 및 증착 방법 장홍영; 배인식, 2013-10-22 | |
낮은 전자온도를 갖는 플라즈마 발생 방법 및 그 장치 장홍영; 서상훈; 정원봉; 채수항; 김재현; 이상원; 엄세훈, 2008-03-27 | |
플라즈마 처리장치 및 플라즈마 처리방법 장홍영; 황태영, 2012-08-08 | |
축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 축전 결합 플라즈마 발생 방법 장홍영; 이헌수, 2011-12-06 | |
기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 예비 전극 구조체, 측정 전극 구조체, 및 공정 전극 구조체 장홍영; 이헌수, 2011-12-06 | |
축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2017-08-30 | |
이온빔 발생 장치 및 이온 빔 발생 방법 장홍영; 서상훈; 채수항; 박민; 이헌수, 2009-06-10 | |
플라즈마 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 이진원, 2013-03-15 | |
플라즈마 발생 장치 장홍영; 서상훈; 인정환, 2011-12-27 | |
축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-06-20 |
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