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11	헬리콘 플라즈마 장치 장홍영; 안상혁, 2012-05-23
12	플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-05-09
13	플라즈마 발생장치 및 기판 처리장치 장홍영; 서상훈; 이헌수; 이윤성, 2011-12-09
14	측정 패턴 구조체, 보정 구조체, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 장홍영; 이헌수, 2011-09-05
15	측정 패턴 구조체, 공정 패턴 구조체, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법 장홍영; 이헌수, 2010-08-24
16	유체 분배 장치 및 유체 분배 방법 장홍영; 이헌수, 2011-12-26
17	플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2017-07-31
18	유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나 장치 장홍영; 이용관; 윤남식; 김성식; 이평우, 2002-05-13
19	기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 장홍영; 박민; 채수항; 안승규, 2010-07-05
20	유체 분배 장치 및 유체 분배 방법 장홍영; 이헌수, 2011-06-24

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