Browse "PH-Patent(특허)" by Author 채수항
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| 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 장홍영; 박민; 채수항; 안승규, 2010-07-05 |
| 낮은 전자온도를 갖는 플라즈마 발생 방법 및 그 장치 장홍영; 서상훈; 정원봉; 채수항; 김재현; 이상원; 엄세훈, 2008-03-27 |
| 이온빔 발생 장치 및 이온 빔 발생 방법 장홍영; 서상훈; 채수항; 박민; 이헌수, 2009-06-10 |
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Type
- 460 Patent
Date issued
- 177 2010 - 2019
- 62 2000 - 2009
- 1 1998 - 1999