Browse "PH-Patent(특허)" by Author 이헌수
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| 기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 예비 전극 구조체, 측정 전극 구조체, 및 공정 전극 구조체 장홍영; 이헌수, 2011-12-06 |
| 내부 안테나 구조체 및 플라즈마 발생 장치 장홍영; 이헌수, 2011-09-30 |
| 유체 분배 장치 및 유체 분배 방법 장홍영; 이헌수, 2011-12-26 |
| 유체 분배 장치 및 유체 분배 방법 장홍영; 이헌수, 2011-06-24 |
| 유체 분배 장치 및 유체 분배 방법 장홍영; 이헌수 |
| 이온빔 발생 장치 및 이온 빔 발생 방법 장홍영; 서상훈; 채수항; 박민; 이헌수, 2009-06-10 |
| 축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 그 형성 방법 장홍영; 이헌수, 2012-05-23 |
| 축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 축전 결합 플라즈마 발생 방법 장홍영; 이헌수, 2011-12-06 |
| 측정 패턴 구조체, 공정 패턴 구조체, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법 장홍영; 이헌수, 2010-08-24 |
| 측정 패턴 구조체, 보정 구조체, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 장홍영; 이헌수, 2011-09-05 |
| 측정 패턴 구조체, 보정 구조체, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법 장홍영; 이헌수, 2011-10-07 |
| 측정 패턴 구조체, 보정 구조체, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법 장홍영; 이헌수 |
| 탄소나노튜브 패치, 그 제조 방법, 및 그 사용 방법 장홍영; 김종욱; 이헌수, 2010-10-28 |
| 플라즈마 발생장치 및 기판 처리장치 장홍영; 서상훈; 이헌수; 이윤성, 2011-12-09 |
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Type
- 460 Patent
Date issued
- 177 2010 - 2019
- 62 2000 - 2009
- 1 1998 - 1999