Browse "PH-Patent(특허)" by Author 김성식
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| 유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나 장치 장홍영; 이용관; 윤남식; 김성식; 이평우, 2002-05-13 |
| 유도 결합형 플라즈마를 생성하기 위한 안테나 장치 장홍영; 이용관; 윤남식; 김성식; 이평우, 2001-09-11 |
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Type
- 460 Patent
Date issued
- 177 2010 - 2019
- 62 2000 - 2009
- 1 1998 - 1999