Browse "CBE-Patent(특허)" by Author 박용천
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| 개시제 및 플라스마를 이용한 화학 기상 증착 시스템 및 그 동작 방법 임성갑; 곽무진; 박홍근; 최준환; 이민석; 이동효; 박용천 |
| 기상 증착공정을 이용한 갭필링 방법 및 그 장치 임성갑; 박용천; 정기훈; 이창현; 김유손; 이유진 |
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Type
- 1,560 Patent
Date issued
- 587 2010 - 2019
- 309 2000 - 2009
- 12 1990 - 1999
- 2 1985 - 1989