Monte Carlo Simulation에 의한 조성 변조 Co-Pt, Co/Pd 다층박막의 스퍼터된 원자들의 에너지 분포계산

Abstract

조성변조 Co/Pd, Co/Pt 다층박막의 제조시 스퍼터링 조건이 박막의 미세구조에 미치는 영향을 조사하기 위하여 스퍼터링된 Pd, Pt 원자들의 에너지 분포를 계산하였다. 각 원자들의 에너지 손실은 Monte Carlo 방법을 이용하여 얻었고, 스퍼터링 가스의 종류, 압력, 타겟과 기판사이의 거리, 타겟 물질의 종류를 바꾸어 가면서 계산하여, 각 경우에 있어서 기판에 도달되는 원자들의 에너지 분포 등의 결과를 얻을 수 있었다. 계산결과 타겟 원자들의 에너지는 스퍼터링 갓의 압력 및 타겟과 기판 사이 거리에 크게 민감하고, 이미 thermalization된 경우 스퍼터링 가스의 종류나 타겟 물질의 종류에 크게 영향이 없음을 알 수 있었다.