DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 유천열 | ko |
dc.contributor.author | 신성철 | ko |
dc.date.accessioned | 2011-01-27T06:52:50Z | - |
dc.date.available | 2011-01-27T06:52:50Z | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.issued | 1994-12 | - |
dc.identifier.citation | 새물리, v.34, no.6, pp.669 - 675 | - |
dc.identifier.issn | 0374-4914 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/21857 | - |
dc.description.abstract | 조성변조 Co/Pd, Co/Pt 다층박막의 제조시 스퍼터링 조건이 박막의 미세구조에 미치는 영향을 조사하기 위하여 스퍼터링된 Pd, Pt 원자들의 에너지 분포를 계산하였다. 각 원자들의 에너지 손실은 Monte Carlo 방법을 이용하여 얻었고, 스퍼터링 가스의 종류, 압력, 타겟과 기판사이의 거리, 타겟 물질의 종류를 바꾸어 가면서 계산하여, 각 경우에 있어서 기판에 도달되는 원자들의 에너지 분포 등의 결과를 얻을 수 있었다. 계산결과 타겟 원자들의 에너지는 스퍼터링 갓의 압력 및 타겟과 기판 사이 거리에 크게 민감하고, 이미 thermalization된 경우 스퍼터링 가스의 종류나 타겟 물질의 종류에 크게 영향이 없음을 알 수 있었다. | - |
dc.description.sponsorship | 본 연구는 한국과학재단의 연구비 지원(과제번호 921-02200-0210-2)의 도움으로 수행된 것임을 밝힙니다. | en |
dc.language | Korean | - |
dc.language.iso | ko | en |
dc.publisher | 한국물리학회 | - |
dc.title | Monte Carlo Simulation에 의한 조성 변조 Co-Pt, Co/Pd 다층박막의 스퍼터된 원자들의 에너지 분포계산 | - |
dc.type | Article | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.citation.volume | 34 | - |
dc.citation.issue | 6 | - |
dc.citation.beginningpage | 669 | - |
dc.citation.endingpage | 675 | - |
dc.citation.publicationname | 새물리 | - |
dc.embargo.liftdate | 9999-12-31 | - |
dc.embargo.terms | 9999-12-31 | - |
dc.contributor.localauthor | 신성철 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 유천열 | - |
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