자기부상 스테이지에서의 속도리플 향상을 위한 모델링 개선 및 제어 알고리즘에 관한 연구 = A study on development of modeling and control algorithm to reduce velocity ripple for magnetic levitation stage

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자기부상스테이지는 반도체 산업의 리소그래피 공정과 LCD 제작 장비에서 많이 이용되는 장비로 높은 정밀도와 구동 제어가 필요하다. 특히 반도체 공정에서는 회로의 집적도를 높이기 위한 기술이 발전함에 따라 레이저의 분해능이 높아지고있다. 그에 따라 스테이지의 속도와 정밀도가 높아지고있고 구동 범위가 넓어지고 있다. 따라서 이러한 고정밀의 성능을 내기 위해서는 힘리플의 제거가 필요하다. 힘리플을 제거하기 위해 기존의 코일모델링을 원통 좌표계를 적용하여 새롭게 시스템을 모델링 하고 Recursive Least Square Estimation 적응 제어를 적용하여 속도에 따라 다르게 발생하는 힘리플을 완전히 제거하여 정밀도와 트레킹 성능을 높였다. 이 때 제어를 위해 matlab의 simulink 를 이용하였고 제어기로는 dspace 제어기를 사용하였다.
Advisors
권대갑researcherGweon, Dae Gabresearcher
Description
한국과학기술원 :기계공학전공,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2015
Identifier
325007
Language
kor
Description

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2015.2 ,[52 p :]

Keywords

자기부상스테이지; 힘리플; 속도리플; 원통좌표; 적응제어; maglev stage; force ripple; velocity ripple; cylindrical coordinates; RLSE

URI
http://hdl.handle.net/10203/202669
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=608243&flag=dissertation
Appears in Collection
ME-Theses_Master(석사논문)
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