Co/Pd 초격자 다층박막의 Pd 하지층 영향

Abstract

Pd 하지층(predeposition layer)이 조성변조 Co/Pd 초격자 다층박막의 자기적 성질에 미치는 영향을 연구하였다. 각 시료들은 Ar 스퍼터링 압력이 10mTorr에서 dc magnetron 스퍼터링 방법으로 제작되었고, Pd 하지층의 두께를 0에서 1000Å까지 100Å의 간격으로 변화시켰다. 포화 자화량, 수직 자기이방성, 보자력 같은 자기적 성질들은 Pd 하지층의 두께가 600Å일 때까지 거의 일정함이 관측되었다. 그러나 Pd 하지층의 두께가 700Å보다 두꺼워 질때, 시료의 자기적 성질들은 급격히 증가하였다. 이 결과들은 서로 다른 두께를 가진 Pd 하지층위에 증착된 다층박막의 미세구조의 변화에 기인한다.