마스크가 필요없는 노광 기술을 위한 대용량 폴리곤의 래스터화Rasterization of massive polygons for maskless lithography
- Advisors
- 신하용researcher; Shin, Ha-Yong
- Description
- 한국과학기술원 : 산업및시스템공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2009
- Identifier
- 487955/325007 / 020073276
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업및시스템공학과, 2008.2, [ iv, 53 p. ]
- Keywords
마스크리스; 리소그라피; 래스터라이제이션; maskless lithography; rasterization; polygon; 폴리곤
- Appears in Collection
- IE-Theses_Master(석사논문)
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