Showing results 1 to 2 of 2
금속흡착에 의한 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 저온 결정화에 관한 연구 = A study on low temperature crystallization of LPCVD amorphous Si using metal adsorption methodlink 손동균; Sohn, Dong-Kyun; et al, 한국과학기술원, 1997 |
테스트 패턴을 이용한 다결정 실리콘 박막의 열팽창 계수 측정에 관한 연구 = Measurement of thermal expansion coefficient of polycrystalline silicon thin film by micro test patternslink 채정헌; Chae, Jung-Hun; et al, 한국과학기술원, 1997 |
Discover