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ECR PECVD방법에 의한 탄탈륨 산화 박막에 증착 온도 및 열처리 온도가 미치는 영향(초록 No;C-32) 이원종; 이정용; 안성덕; 조복원; 김종석; 김일; 권기원; et al, 한국요업학회 추계학술연구발표회, 1993 |
ECR 산소 플라즈마에 의한 SiO2 박막의 성장 거동 및 전기적 특성 안성덕; 이원종, 한국세라믹학회지, v.32, no.3, pp.371 - 377, 1995-04 |
ECR 플라즈마를 이용한 플라즈마 산화에 관한 연구 = A study on the plasma oxidation using electron cyclotron resonance plasmalink 안성덕; Ahn, Seong-Deok; et al, 한국과학기술원, 1994 |
ECR-PECVD Ta2O5 증착시 형성되는 SiO2에 관한 연구 이원종; 안성덕; 김일; 김종석; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술발표 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
ECR-플라즈마 화학 증착법에 의해 제조된 Ta2O5 박막의 유전 특성 조복원; 안성덕; 이원종, 한국세라믹학회지, v.31, no.11, pp.1330 - 1336, 1994-04 |
산소와 질소분위기에서 열처리된 ECR- PECVD 탄탈륨 산화막의 전기적 성질 연구 이원종; 김일; 김종석; 안성덕; 천성순, 한국재료학회 춘계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1994-05 |
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