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DMEAA source를 이용한 Al-MOCVD mechanism 및 특성에 관한 연구 = A study on the Al-MOCVD mechanism and characteristics using DMEAA sourcelink 장태웅; Jang, Tae-Woong; et al, 한국과학기술원, 1998 |
스퍼터링법으로 증착한 알루미늄 박막의 잔류응력에 따른 결정 배향성이 전기적성질에 미치는 영향 = Effect of crystallographic orientation affected by residual stress on electrical property of Al thin films deposited by sputteringlink 김석필; Kim, Suk-Pil; et al, 한국과학기술원, 1997 |
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