광포획된 마이크로 입자를 이용한 표면형상 측정Surface profile measurement with optically trapped micro-particles

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정밀 삼차원 미세 형상 측정기에서 성능의 관건은 고속, 고분해능으로 측정하는 것이다. 그러기 위해서는 공진주파수가 높아야 하고 스프링 상수가 작아야 한다. 광포획 현미경(optical trap microscope, OTM)은 광포획 된 마이크로 입자를 프로브로 사용하는 것으로 입자에 작용하는 복원력이 광에 의한 힘뿐이므로 스프링 상수가 낮다. 또한 공진주파수는 f=√k/m 으로 입자의 질량이 매우 작으므로 공진주파수도 비교적 높다.
Publisher
한국광학회
Issue Date
2002-02-15
Language
KOR
Citation

한국광학회 제12회 정기총회 및 2001년도 동계학술발표회 논, pp.116 - 117

URI
http://hdl.handle.net/10203/137540
Appears in Collection
ME-Conference Papers(학술회의논문)
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