Browse "Dept. of Mechanical Engineering(기계공학과)" by Author 류현준
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| 연마율 개선을 위한 화학적기계연마 패드 표면돌기의 기계적 특성 제어 류현준; 김동근; 강석경; 정지훈; 김산하, 2021 한국정밀공학회 추계학술대회, 한국정밀공학회, 2021-11-25 |
| 탄소나노튜브들을 포함하는 복합 연마패드 및 이의 제조방법 김산하; 정지훈; 류현준; 강석경; 김성재; 민병주; 홍석지; et al |
| 탄소나노튜브로 결속된 고내마모성 박막 코팅을 포함하는 복합 연마패드 및 이의 제조방법 김산하; 정지훈; 류현준; 강석경; 김성재; 민병주; 홍석지; et al |
| 패드 단일미세돌기 접촉점에서의 화학적기계연마 연마성능 분석 및 개선 방안 = Study on characterization and improvement of CMP performance at single contact point of pad micro-asperitylink 류현준; 김산하; et al, 한국과학기술원, 2021 |
| 패드 단일미세접촉점에서의 화학적 기계연마 공정 분석 류현준; 김동근; 강석경; 정지훈; 김산하, 2020년도 한국트라이볼로지학회 제69회 학술대회, 한국트라이볼로지학회, 2020-09-25 |
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