탄소나노튜브들을 포함하는 복합 연마패드 및 이의 제조방법Composite polishing pad including carbon nanotubes and method for manufacturing the same
본 발명은 상부면에 성형된 다수개의 돌기를 포함하는 폴리머 기재층; 및 상기 기재층 상부면에 함입되어 고정된 탄소나노튜브들을 포함하는 탄소나노튜브층;을 포함하는 CMP용 복합 연마패드 및 이의 제조방법을 제공한다.
- Assignee
- 한국과학기술원, 케이피엑스케미칼 주식회사
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2021-11-12
- Application Number
- 10-2021-0155313
- Registration Date
- 2023-05-08
- Registration Number
- 10-2531705-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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