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3軸直線運動ステージ 권대갑; 심종엽; 김동민; 김기현 |
(A) three-axis nanopositioning slider design, analysis and control = 3축 나노위치결정 슬라이더의 설계, 해석 및 제어에 관한 연구link Shim, Jong-Youp; 심종엽; et al, 한국과학기술원, 2004 |
AFM scanner용 초정밀 XYZ 스테이지의 설계, 특성분석 및 제어에 관한 연구 = A precision XYZ-stage for AFM scanner design, analysis and controllink 심종엽; Shim, Jong-Youp; et al, 한국과학기술원, 1998 |
유연기구를 이용한 초정밀 단일체 3축 스테이지의 모델링 및 최적설계에 관한 연구 심종엽; 권대갑, 대한기계학회논문집 A, v.22, no.4, pp.868 - 878, 1998-04 |
접촉모드 AFM의 시스템 분석 및 제어 정회원; 심종엽; 권대갑, 한국정밀공학회지, v.15, no.3, pp.99 - 106, 1998-03 |
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