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확장 트와이만-그린 간섭계를 이용한 운동 오차의 실시간 보상 배은덕; 오정석; 김승우, 한국정밀공학회지, v.20, no.10, pp.112 - 119, 2003-10 |
확장 트와이만-그린 간섭계를 이용한 직선 운동 오차의 실시간 보상 = Real-time compensation of motion errors using extended twyman-green interferometrylink 배은덕; Bae, Eun-Deok; et al, 한국과학기술원, 2003 |
확장 트와이만-그린 간섭계를 이용한 직선 운동오차의 실시간 측정 배은덕; 오정석; 김승우, 한국광학회 제14회 정기총회 및 2003년도 동계학술발표회 , pp.90 - 91, 한국광학회, 2003-02-13 |
확장트와이만 그린 간섭계를 이용한 운동오차의 실시간 측정 및 보상 오정석; 배은덕; 김승우, 한국정밀공학회 춘계학술발표회, v.3, pp.288 - 291, 한국정밀공학회, 2003-06 |
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