Showing results 1 to 2 of 2
Growth mechanism of polycrystalline silicon using silane gases by LPCVD = 사일렌 가스를 사용하여 저압화학증착법으로 증착한 다결정 실리콘의 성장에 관한 연구link Wee, Hae-Sung; 위해성; Shin, Sung-Chul; Lee, Choo-Chon; et al, 한국과학기술원, 2000 |
Photo-CVD로 제작한 수소화된 비정질 실리콘의 특성에 관한 연구 = Characteristics of hydrogenated amorphous silicon prepared by photo-CVDlink 위해성; Wee, Hae-Sung; et al, 한국과학기술원, 1990 |
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