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| Control of plasma parameters using grid voltage biasing and inert gas mixing in inductively coupled plasma = 유도결합 플라즈마에서 그리드 및 비활성 기체 혼합을 이용한 플라즈마 변수 제어link Bai, Keun-Hee; 배근희; et al, 한국과학기술원, 2002 |
| power dissipation mode transition by a magnetic field 유신재; 정진욱; 배근희; 장홍영, 한국진공학회 2002년도 제23회 학술발표회, 한국진공학회, 2002 |
| 그리드를 이용한 플라즈마 변수 제어에 따른 Ar/CF4 플라즈마에서 중성종 및 이온들의 분포변화 홍정인; 배근희; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회 제17회 학술발표회, 한국진공학회, 1999 |
| 대면적 플라즈마 소스를 위한 TCP 병렬 안테나 디자인 연구 = Study on parallel planar antenna designs for large area plasma sourcelink 배근희; Bai, Guen-Hee; et al, 한국과학기술원, 1998 |
| 유도결합 플라즈마에서 E-H 모드 전이 및 전자에너지 분포함수의 주파수 특성 연구 서상훈; 홍정인; 배근희; 장홍영, 한국진공학회 제15회 학술발표회, 한국진공학회, 1998 |
| 유도결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마 제어에 관한 연구 홍정인; 서상훈; 배근희; 장홍영; 윤남식, 한국진공학회 제16회 학술발표회, 한국진공학회, 1999 |
| 유도결합 플라즈마에서의 전자에너지 분포 특성 및 Ramsauer 효과에 대한 연구 서상훈; 김성식; 홍정인; 배근희; 장충석; 장홍영, 한국진공학회 제16회 학술발표회, 한국진공학회, 1999 |
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Type
Open Access
Date issued
- 1 2040 - 2041
- 31,611 2020 - 2029
- 100,003 2010 - 2019
- 75,670 2000 - 2009
- 44,727 1990 - 1999
- 1,633 1970 - 1979
- 62 1964 - 1969