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Epitaxial self-assembly of block copolymer for multiple patterning = 블록공중합체의 에피탁시얼 자기조립을 이용한 멀티플 패터닝link Park, Seung-Hak; 박승학; et al, 한국과학기술원, 2009 |
블록공중합체 자기조립제어를 통한 무결함 나노구조제작 이형민; 김상욱; 정성준; 신동옥; 김봉훈; 박승학; Guodong Xia; et al, KOREAN CHEMICAL ENGINEERING RESEARCH(HWAHAK KONGHAK), v.46, no.1, pp.1 - 6, 2008-02 |
패턴 형성 방법 김상욱; 윤동기; 이시용; 김경선; 최성운; 오석환; 박승학, 2016-03-07 |
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