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퍼지 다차원 입방체 적응 제어기를 이용한 플라즈마 식각장비의 제어 = Plasma etching system control using fuzzy hypercube adaptive controllerlink 노지명; No, Ji-Myong; et al, 한국과학기술원, 1994 |
퍼지 적응 제어기를 이용한 플라즈마 식각장비의 제어 임종태; 노지명, 한국 자동제어 학술회의 논문집, pp.997 - 1002, 대한전자공학회, 1994 |
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