퍼지 다차원 입방체 적응 제어기를 이용한 플라즈마 식각장비의 제어Plasma etching system control using fuzzy hypercube adaptive controller
- Advisors
- 임종태researcher; Lim, Jong-Taeresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 1994
- Identifier
- 69391/325007 / 000923163
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과, 1994.2, [ i, 51 p. ]
- Appears in Collection
- EE-Theses_Master(석사논문)
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