비정질 규소 박막의 광학적 성질 연구 = The optical properties of amorphous Si film

진공$(\sim 1.0 \times 10^{-7} torr)$ 에서 현미경 slide glass에 증착하여 만든 비정질 Si film의 광학적 성질을 조사했다. $0.68 \sim 2.38 ev$의 photon energy 영역에서 구조는 같으나 두께가 다른 한쌍의 시료의 transmittance를 측정함으로써 비정질 Si film의 광학상수들을 구했다. 증착속도가 다른 $2730 \mbox{\AA},\; 2830 \mbox{\AA}$ 시료 한쌍과 $1900 \mbox{\AA},\; 2150 \mbox{\AA}$ 한쌍에 대한 결과는 증착속도가 느린 후자의 시료가 후자의 시료보다 측정된 파장영역에서 0.05 정도 적은 굴절율 값을 가지며, 0.04ev정도 더넓은 1.52ev의 band gap을 가지고 있다. Hydrogenation 효과를 보기위한 두쌍의 시료 $1970 \mbox{\AA},\; 2180 \mbox{\AA}$ 쌍과 $1830 \mbox{\AA},\; 2050 \mbox{\AA}$ 쌍에서는 d.c discharge 방법으로 hydrogenation한 후자의 시료가 전자의 시료보다 $0.02 \sim 0.09$ 정도 작은 굴절율 값을 가지며, 0.1 eV정도 더넓은 1.6 eV의 bandgap을 보여준다. 또 Pd을 이용하여 hydrogenation한 시료도 1.6eV정도의 band gap을 나타내어, Pd을 이용한 hydrogenation 방법은 가능성을 암시하고 있다.
Advisors
이주천researcherLee, Choo-Chonresearcher
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
1979
Identifier
62394/325007 / 000771134
Language
kor
Description

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 물리학과, 1979.2, [ [iii], 68 p. ]

URI
http://hdl.handle.net/10203/47934
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=62394&flag=t
Appears in Collection
PH-Theses_Master(석사논문)
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