학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2009.2, [ vi, 66 p. ]
piezoelectric actuator; mask aligner; vertical; flexure; precision stage; 압전구동기; 마스크 얼라이너; 수직형; 유연기구; 정밀스테이지; piezoelectric actuator; mask aligner; vertical; flexure; precision stage; 압전구동기; 마스크 얼라이너; 수직형; 유연기구; 정밀스테이지
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