나노 정밀도를 갖는 다축 수직형 마스크 얼라이너의 설계 및 제어에 관한 연구Design and Control of a Nano-Precision Multi-Axis Vertical Mask Aligner
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 권대갑 | - |
| dc.contributor.advisor | Gweon, Dae-Gab | - |
| dc.contributor.author | 김효영 | - |
| dc.contributor.author | Kim, Hyo-Young | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-14T06:44:34Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-14T06:44:34Z | - |
| dc.date.issued | 2009 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=308518&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/45684 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2009.2, [ vi, 66 p. ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | piezoelectric actuator | - |
| dc.subject | mask aligner | - |
| dc.subject | vertical | - |
| dc.subject | flexure | - |
| dc.subject | precision stage | - |
| dc.subject | 압전구동기 | - |
| dc.subject | 마스크 얼라이너 | - |
| dc.subject | 수직형 | - |
| dc.subject | 유연기구 | - |
| dc.subject | 정밀스테이지 | - |
| dc.subject | piezoelectric actuator | - |
| dc.subject | mask aligner | - |
| dc.subject | vertical | - |
| dc.subject | flexure | - |
| dc.subject | precision stage | - |
| dc.subject | 압전구동기 | - |
| dc.subject | 마스크 얼라이너 | - |
| dc.subject | 수직형 | - |
| dc.subject | 유연기구 | - |
| dc.subject | 정밀스테이지 | - |
| dc.title | 나노 정밀도를 갖는 다축 수직형 마스크 얼라이너의 설계 및 제어에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | Design and Control of a Nano-Precision Multi-Axis Vertical Mask Aligner | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 308518/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 기계공학전공, | - |
| dc.identifier.uid | 020073147 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김효영 | - |
| dc.contributor.localauthor | Kim, Hyo-Young | - |
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- ME-Theses_Master(석사논문)
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