FePtC薄膜を利用した高密度磁気記録媒体及びその製造方法

Abstract

【要約】 【課題】 磁気記録に適合した保磁力と微細な結晶粒及び均一な結晶粒径分布を持った最適組成の炭素が添加されたFePtC合金薄膜からなる磁気記録媒体及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 FePtC合金薄膜に炭素を25 体積体積%添加することによって、高密度磁気記録媒体として好ましい微視的磁気特性及び構造的特性を持った磁気記録媒体を提供し、また、FePtC薄膜を基板温度400℃でdcマグネトロンスパッタリング装置を利用して同時蒸着する方法で形成して、基板の熱処理及び蒸着時間は1時間にすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法を提供することによって、貯蔵密度を高め、ノイズを減らし、工程温度を下げる効果を持つ。 【選択図】 図2