광자기.타원 분광기

Abstract

본 발명은 광자기 커 회전각과 타원율을 빛의 파장을 바꾸어가면서 측정할 수 있는 광자기 커 분광기(magneto-optical Kerr spectrometer)와 광학적 특성을 측정할 수 있는 분광 타원 해석기(spectroscopic ellipsometer)의 기능을 동시에 갖춘 광자기ㆍ타원 분광기에 관한 것으로, 특히 2개의 서로 다른 방향에 놓인 제1 시료 및 제2 시료에 조사하는 빔을 발생시키는 광원과; 상기 광원에서 조사된 빔이 자기장안에 놓인 제1 시료의 광자기 커 효과에 의하여 타원평광되는 빔이 후기의 이중 광검출 수단에 입력되도록 하는 자기 광학적 수단과; 상기 광원에서 조사된 빔이 제2 시료의 광학적 성질에 의하여 그 편광상태가 변화되어 이중 광검출 수단에 입력되도록 하는 분광 타원 해석적 수단과; 상기 자기 광학적 수단 및 분광 타원 해석적 수단에서 입력되는 광을 선택적으로 받아들여 광측정 수단에 출력하는 이중 광검출 수단 및 상기 이중 광검출 수단에서 입력되는 빛을 이용하여 선택적으로 커 회전각 및 타원율을 측정하는 광자기 커 분광 분석 기능을 수행하거나 복소 굴절율을 측정하는 분광 타원 해석기능을 수행하는 광측정 수단으로 구성되는 광자기ㆍ타원 분광기 제공하여, 각기 다른 장비인 광자기 커 분광기와 분광 타원 해석기를 독립적으로 이용해야만 하는 광자기 효과에 대한 연구를 하나의 장비를 이용해서 가능케 하여, 제작시의 단가 절감은 물론 데이터의 분석과 해석의 용이함을 극대화할 수 있다.