파면 제어기를 이용한 고속 3차원 광조형 방법 및 장치METHOD AND APPARATUS FOR HIGH-SPEED 3D PHOTOLITHOGRAPHYING USING WAVEFRONT SHAPER
파면 제어기를 이용한 고속 3차원 광조형 방법 및 장치가 개시된다. 3차원 광조형 방법은, 조형하고자 하는 3차원 형상의 물체(object)의 3차원 빛의 세기 분포를 제어하기 위한 2차원 파면을 계산하는 단계, 계산된 상기 2차원 파면을 파면 제어기에 투영하는 단계, 및 상기 파면 제어기를 통해 파면이 제어된 빛을 상기 3차원 형상의 물체에 위치한 감광성 수지에 노광하여 3차원 형상의 물체(object)를 조형하는 단계를 포함할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2019-07-24
- Application Date
- 2017-10-11
- Application Number
- 10-2017-0129744
- Registration Date
- 2019-07-24
- Registration Number
- 10-2005632-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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