기능성 금속산화물 제조 방법 및 이에 의해 제조된 전자소자FUNCTIONALIZED METAL OXIDE MANUFACTURING METHOD AND UV SENSOR MANUFACTURED THEREOF
본 발명은 레이저를 이용하여 나노구조물의 산화에 따른 금속산화물을 제조하고, 금속산화물의 산화 과정을 모니터링하는 기능성 금속산화물 제조 방법 및 이에 의해 제조된 전자소자에 관한 것으로, 미리 패턴된 나노구조물에 후처리 공법을 이용하여 특정 부분에 산화를 진행할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2019-05-02
- Application Date
- 2017-08-30
- Application Number
- 10-2017-0109783
- Registration Date
- 2019-05-02
- Registration Number
- 10-1976939-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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