기능성 금속산화물 제조 방법 및 이에 의해 제조된 전자소자FUNCTIONALIZED METAL OXIDE MANUFACTURING METHOD AND UV SENSOR MANUFACTURED THEREOF
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 유경식 | ko |
| dc.contributor.author | 심재호 | ko |
| dc.contributor.author | 박정훈 | ko |
| dc.contributor.author | 권경목 | ko |
| dc.date.accessioned | 2019-05-09T04:50:34Z | - |
| dc.date.available | 2019-05-09T04:50:34Z | - |
| dc.date.issued | 2019-05-02 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/261808 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 레이저를 이용하여 나노구조물의 산화에 따른 금속산화물을 제조하고, 금속산화물의 산화 과정을 모니터링하는 기능성 금속산화물 제조 방법 및 이에 의해 제조된 전자소자에 관한 것으로, 미리 패턴된 나노구조물에 후처리 공법을 이용하여 특정 부분에 산화를 진행할 수 있다. | - |
| dc.title | 기능성 금속산화물 제조 방법 및 이에 의해 제조된 전자소자 | - |
| dc.title.alternative | FUNCTIONALIZED METAL OXIDE MANUFACTURING METHOD AND UV SENSOR MANUFACTURED THEREOF | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 유경식 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박정훈 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2017-0109783 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1976939-0000 | - |
| dc.date.application | 2017-08-30 | - |
| dc.date.registration | 2019-05-02 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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