기능성 금속산화물 제조 방법 및 이에 의해 제조된 전자소자 FUNCTIONALIZED METAL OXIDE MANUFACTURING METHOD AND UV SENSOR MANUFACTURED THEREOF

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dc.contributor.author유경식ko
dc.contributor.author심재호ko
dc.contributor.author박정훈ko
dc.contributor.author권경목ko
dc.date.accessioned2019-05-09T04:50:34Z-
dc.date.available2019-05-09T04:50:34Z-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/261808-
dc.description.abstract본 발명은 레이저를 이용하여 나노구조물의 산화에 따른 금속산화물을 제조하고, 금속산화물의 산화 과정을 모니터링하는 기능성 금속산화물 제조 방법 및 이에 의해 제조된 전자소자에 관한 것으로, 미리 패턴된 나노구조물에 후처리 공법을 이용하여 특정 부분에 산화를 진행할 수 있다.-
dc.title기능성 금속산화물 제조 방법 및 이에 의해 제조된 전자소자-
dc.title.alternativeFUNCTIONALIZED METAL OXIDE MANUFACTURING METHOD AND UV SENSOR MANUFACTURED THEREOF-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor유경식-
dc.contributor.nonIdAuthor박정훈-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2017-0109783-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-1976939-0000-
dc.date.application2017-08-30-
dc.date.registration2019-05-02-
dc.publisher.countryKO-
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EE-Patent(특허)
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