레이저 유도 국부 플라즈마를 이용한 적응형 병렬 패터닝 공정
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 양민양 | ko |
| dc.contributor.author | 강봉철 | ko |
| dc.contributor.author | 박정환 | ko |
| dc.date.accessioned | 2019-04-15T23:52:49Z | - |
| dc.date.available | 2019-04-15T23:52:49Z | - |
| dc.date.created | 2014-01-14 | - |
| dc.date.issued | 2012-11-29 | - |
| dc.identifier.citation | 한국레이저가공학회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/259210 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국레이저가공학회 | - |
| dc.title | 레이저 유도 국부 플라즈마를 이용한 적응형 병렬 패터닝 공정 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 한국레이저가공학회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.contributor.localauthor | 양민양 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 강봉철 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박정환 | - |
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