워킹 디스턴스 내에서 각도를 확대하여 빛을 조사하는 광학 현미경 및 그 방법

Abstract

워킹 디스턴스 내에서 각도를 확대하여 빛을 조사하는 광학 현미경 및 그 방법이 제시된다. 워킹 디스턴스 내에서 각도를 확대하여 빛을 조사하는 광학 현미경은 샘플(sample)을 향해 빛을 조사하는 광원; 상기 광원에서 조사된 상기 빛의 조사 각도를 제어하는 각도 제어부; 상기 각도 제어부에서 조사 각도가 제어된 상기 빛의 조사 각도를 확대시키는 각도 확대부; 및 상기 각도 확대부에서 조사 각도가 확대된 상기 빛을 모아 상기 샘플로 입사시키는 광 수렴부를 포함하고, 상기 각도 제어부 및 상기 각도 확대부에 의해 상기 광 수렴부와 상기 샘플 사이의 소정의 워킹 디스턴스(working distance) 내에서 상기 빛의 조사 각도를 확대하여 상기 샘플에 조사할 수 있다.