극자외선 고차 조화파 생성 장치 EUV HIGH HARMONIC GENERATION APPARATUS

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극자외선 고차 조화파 생성 장치가 개시된다. 일 실시예는 펨토초 레이저 발생기에서 출력되는 빛을 전달하는 광 전달수단과, 상기 광 전달수단을 통해 전달받은 빛이 통과할 때 근접장 증폭이 일어날 수 있는 금속 박막이 포함된 사파이어를 포함한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2018-10-12
Application Date
2016-12-22
Application Number
10-2016-0176602
Registration Date
2018-10-12
Registration Number
10-1909790-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/255209
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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