극자외선 고차 조화파 생성 장치 EUV HIGH HARMONIC GENERATION APPARATUS

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dc.contributor.author김승우ko
dc.contributor.author한승회ko
dc.contributor.author김현웅ko
dc.contributor.author김용우ko
dc.date.accessioned2019-04-15T15:38:50Z-
dc.date.available2019-04-15T15:38:50Z-
dc.date.issued2018-10-12-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/255209-
dc.description.abstract극자외선 고차 조화파 생성 장치가 개시된다. 일 실시예는 펨토초 레이저 발생기에서 출력되는 빛을 전달하는 광 전달수단과, 상기 광 전달수단을 통해 전달받은 빛이 통과할 때 근접장 증폭이 일어날 수 있는 금속 박막이 포함된 사파이어를 포함한다.-
dc.title극자외선 고차 조화파 생성 장치-
dc.title.alternativeEUV HIGH HARMONIC GENERATION APPARATUS-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor김승우-
dc.contributor.nonIdAuthor한승회-
dc.contributor.nonIdAuthor김현웅-
dc.contributor.nonIdAuthor김용우-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2016-0176602-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-1909790-0000-
dc.date.application2016-12-22-
dc.date.registration2018-10-12-
dc.publisher.countryKO-
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ME-Patent(특허)
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