알루미늄 박판의 다단 전해식각 공정을 이용한 3 차원 마이크로 구조물의 제작 Three-Dimensional Microstructures Fabricated by Multi-Step Electrochemical Aluminum-Foil Etching

Cited 0 time in webofscience Cited 0 time in scopus
  • Hit : 357
  • Download : 0
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.author김윤지ko
dc.contributor.author윤세찬ko
dc.contributor.author한원ko
dc.contributor.author조영호ko
dc.contributor.author박호준ko
dc.contributor.author장병규ko
dc.contributor.author오용수ko
dc.date.accessioned2013-03-09T00:49:08Z-
dc.date.available2013-03-09T00:49:08Z-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.issued2010-12-
dc.identifier.citation대한기계학회논문집 A, v.34, no.12, pp.1805 - 1810-
dc.identifier.issn1226-4873-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/94866-
dc.description.abstract본 논문에서는 알루미늄 박판의 다단 전해식각을 공정을 이용한 3 차원 마이크로 구조물 제작방법을 제안한다. 본 공정은 기존 전해가공 공정들에 비해 3 차원 구조물의 대량생산이 용이하며, 기존 3 차원 마이크로 금속 구조물의 제작을 위한 다단 도금방법에 비해 간단하고, 경제적일 뿐만 아니라, 성형된 금속 박판을 이용하므로 구조물의 물성이 안정적이다. 본 논문에서는 단일 전해식각 공정을 통한 2 차원 외팔보 열과 다단 전해식각 공정을 통한 3 차원 마이크로 구조물의 제작을 수행하였다. 단일 전해식각 공정에서 평균 수직방향 식각률 1.50±0.10 ㎛/min 와 평균 수평방향 식각률 0.77±0.03 ㎛/min 을 얻었으며, 이를 이용한 3 차원 마이크로 구조물을 제작한 결과, 수직방향으로 15.5±5.8 %, 수평방향으로 3.3±0.9 % 의 제작오차와 37.4±9.6 nm 의 표면조도를 보였다.-
dc.languageKorean-
dc.publisher대한기계학회-
dc.title알루미늄 박판의 다단 전해식각 공정을 이용한 3 차원 마이크로 구조물의 제작-
dc.title.alternativeThree-Dimensional Microstructures Fabricated by Multi-Step Electrochemical Aluminum-Foil Etching-
dc.typeArticle-
dc.type.rimsART-
dc.citation.volume34-
dc.citation.issue12-
dc.citation.beginningpage1805-
dc.citation.endingpage1810-
dc.citation.publicationname대한기계학회논문집 A-
dc.identifier.kciidART001497026-
dc.contributor.localauthor조영호-
dc.contributor.nonIdAuthor김윤지-
dc.contributor.nonIdAuthor윤세찬-
dc.contributor.nonIdAuthor한원-
dc.contributor.nonIdAuthor박호준-
dc.contributor.nonIdAuthor장병규-
dc.contributor.nonIdAuthor오용수-
dc.subject.keywordAuthorMulti-step Electrochemical Etching-
dc.subject.keywordAuthor3D Microstructure-
dc.subject.keywordAuthorAluminum-foil-
dc.subject.keywordAuthorMicro Probe-
dc.subject.keywordAuthor다단 전해식각-
dc.subject.keywordAuthor3 차원 마이크로 구조물-
dc.subject.keywordAuthor알루미늄 박판-
dc.subject.keywordAuthor마이크로 프로브-
Appears in Collection
BiS-Journal Papers(저널논문)
Files in This Item
There are no files associated with this item.

qr_code

  • mendeley

    citeulike


rss_1.0 rss_2.0 atom_1.0