새로운 HAR-MEMS 공정 연구와 그를 이용한 미세 열유체 및 바이오 응용 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이승섭 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-03-06T18:06:26Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-06T18:06:26Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.citation | 전기전자재료, v.18, no.4, pp.12 - 18 | - |
| dc.identifier.issn | 1226-7937 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/87887 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국전기전자재료학회 | - |
| dc.title | 새로운 HAR-MEMS 공정 연구와 그를 이용한 미세 열유체 및 바이오 응용 연구 | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 18 | - |
| dc.citation.issue | 4 | - |
| dc.citation.beginningpage | 12 | - |
| dc.citation.endingpage | 18 | - |
| dc.citation.publicationname | 전기전자재료 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이승섭 | - |
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- ME-Journal Papers(저널논문)
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