삼차원 좌표 측정을 위한 부피 간섭계의 오차분석 및 성능평가Error analysis and performance test of the volumetric interferometer for three dimensional coordinate measurements
본 연구에서는 삼차원 공간상에서 절대 좌표를 측정하기 위한 부피 간섭계의 오차원인을 분석하고 각 오차원인이 최종 결과에 미치는 영향을 계산했다. 계산결과 광검출기 배열의 비선형성, 압전소자의 비선형성, 광섬유 내부의 온도변화 둥이 오차의 주요 원인임을 알 수 있다. 제안된 간섭계의 성능을 실험적으로 검증하기 위해 분해능 측정 및 이차원 광학식 스케일과의 비교를 수행했다. 또한 간섭계의 성능을 좀 더 엄밀하게 검증하기 위해 자가보정법을 적용해서 공간상에서 간섭계가 갖는 계통오차를 추출했으며 60mmx60mmx20mm공간에서 최대오차 1 μm 이하를 얻었다.
- Publisher
- 한국광학회
- Issue Date
- 2002-12
- Language
- Korean
- Citation
한국광학회지, v.13, no.6, pp.521 - 529
- ISSN
- 1225-6285
- Appears in Collection
- ME-Journal Papers(저널논문)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.