모드 결합을 최적화하기 위해 수정된 결합 영역을 갖는 전기광학 폴리머 디지털 광스위치

Abstract

본 논문에서는 모드 결합을 최적화하기 위해 수정된 결합 영역을 갖는 전기광학 폴리머 디지탈 광스위치를 제작하였다. 분기형 도파로는 반응이온식각 방법을 이용하여 만들었다. 그리고, 수정된 결합 영역은 두 광도파로의 분기점에서부터 광파의 진행 방향을 따라 점진적으로 도입하였으며, 소자 제작 이후에 광표백 방법을 이용하여 구현하였다. 분기 영역에서 두 도파로 간의 모드 결합이 최적화 되도록 수정된 결합 영역의 구조와 굴절률 분포를 조절함으로써, 소자의 길이가 고정되어 있는 상태에서 스위칭 성능을 향상시켰다. 측정 결과에 의하면, 구동 전압은 약 30%이상 감소되었으며 누화는 4~6 dB정도 개선되었다.